Фотолитография

от Уикипедия, свободната енциклопедия
Направо към: навигация, търсене
Схематично представяне на фотолитографския процес.

Фотолитографията — е метод за получаване на рисунък върху тънък слой от материал, която се използва широко в микроелектрониката и в полиграфията. Наричан е още „оптична литография“ и по същество представлява получаване на изображение върху повърхност посредством експонация на фоточувствителен материал през шаблон (маска). Това е един от основните процеси в планарната технология, която е в основата на производството на интегрални схеми.

За получаване на рисунък се използва светлина с определена дължина на вълната. Минималният възможен размер на детайлите от рисунъка е равен на половината от дължината на вълната и се определя от наличието на дифракционни ефекти).

Фоторезист — специален фотографски материал, който изменя физико-химическите си свойства при облъчване със светлина.

Фотошаблон или Фотомаска — пластина, прозрачна за използваната светлина, с рисунък, направен с непрозрачен за излъчването оцветител.

Процесът фотолитография протича по следния начин:

  1. На подложката (в микроелектрониката това най-често е силиций) се нанася тънък слой от материала, в който трябва да се формира рисунък. Върху него се нанася фоторезист.
  2. Прави се експониране през фотошаблона (по контактен или прожекционен метод).
  3. Експонираните участъци на фоторезиста изменят своята разтворимост и може да се отстранят по химически начин (процес ецване). Освободените от фоторезиста участъци се подлагат на следваща обработка, при която останалият неекспониран фоторезист служи като маска.
  4. В заключение се отстраняват остатъците от фоторезист.

Процесът има негативен и позитивен варианти. Ако след експонирането се променя разтворимостта на осветените области (те стават разтворими и се отстраняват) процесът е позитивен; в обратния случай — когато те стават неразтворими и остават — е негативен.[1]

Източници[редактиране | edit source]

  1. Зеленцов С.В., Зеленцова Н.В., Современная фотолитография, Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, 2006, с. 9.
Криейтив Комънс - Признание - Споделяне на споделеното Лиценз за свободна документация на ГНУ Тази страница частично или изцяло представлява превод на страницата „Фотолитография“ в Уикипедия на руски. Оригиналният текст, както и този превод, са защитени от Лиценза „Криейтив Комънс - Признание - Споделяне на споделеното“, а за съдържание, създадено преди юни 2009 година — от Лиценза за свободна документация на ГНУ. Прегледайте историята на редакциите на оригиналната страница, както и на преводната страница, за да видите списъка на съавторите.